出版社内容情報
MEMS研究の世界的権威である著者が初めて解説し，大きな反響を呼んだ『はじめてのMEMS』に続く待望の続編．MEMSはシーズからニーズの時代へ．
MEMS研究の世界的権威である著者が初めて解説し，大きな反響を呼んだ『はじめてのMEMS』に続く待望の続編です．
情報処理を担う集積回路にMEMSを組み合わせるヘテロ集積化技術で，これまで以上に高機能なデバイスやセンサが可能になり，「次世代携帯機器」「センサネットワーク」「光マイクロシステム」「バイオ・医療」「製造・検査」などをはじめとするMEMSの幅広い応用が期待されています．
本書では，そうした応用やニーズ面，開発の実際などをおもに取り上げ，具体的に解説しています．
これからMEMS技術を取り入れたいと考える技術者・研究者が，MEMSの概要や現状を学ぶのに最適な1冊です．
第1章 ヘテロ集積化（MEMSとLSIの融合）
第2章 次世代携帯機器
第3章 センサネットワーク・高機能センサ
第4章 光マイクロシステム
第5章 バイオ・医療用マイクロシステム
第6章 製造・検査装置
第7章 高度化と有効活用への道
江刺 正喜［エサシマサヨシ］
東北大学 教授 工学博士
小野 崇人［オノタカヒト］
東北大学 教授 博（工）
内容説明
ＭＥＭＳはシーズからニーズの時代へ。これまで不可能とされた「ヘテロ集積化技術」を中心に、ＭＥＭＳの今後の開発促進や有効利用をＭＥＭＳ研究の世界的権威が解説する待望の一冊。「はじめてのＭＥＭＳ」続編。
目次
第１章 ヘテロ集積化（ＭＥＭＳとＬＳＩの融合）
第２章 次世代携帯機器
第３章 センサネットワーク・高機能センサ
第４章 光マイクロシステム
第５章 バイオ・医療用マイクロシステム
第６章 製造・検査装置
第７章 高度化と有効活用への道
著者等紹介
江刺正喜［エサシマサヨシ］
１９４９年宮城県に生まれる。１９７６年東北大学大学院博士課程（電子工学専攻）修了。東北大学・助手。１９８１年東北大学・助教授。１９９０年東北大学・教授（精密工学科）。２００７年東北大学原子分子材料科学高等研究機構・教授、（兼）マイクロシステム融合研究開発センター（μＳＩＣ）・センター長（２０１０年）、革新的イノベーション研究機構（ＣＯＩ）リサーチフェロー（２０１５年）。工学博士
小野崇人［オノタカヒト］
１９６７年北海道生まれ。１９９６年東北大学大学院博士課程（精密工学）修了。東北大学・助手。２０００年東北大学・助教授。２００９年東北大学大学院工学研究科・教授（機械システムデザイン工学専攻）、（兼）マイクロシステム融合研究開発センター（μＳＩＣ）・副センター長（２０１０年）。工学博士（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです）
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