内容説明
薄膜特有の物性／プラズマ物理の基礎／応用事例、薄膜作成に欠かせない理論とノウスウを体系的に解説。
目次
第１章 薄膜とは
第２章 薄膜作製技術の基礎
第３章 真空蒸着法
第４章 スパッタリング法
第５章 化学気相成長法
第６章 薄膜の評価技術
第７章 薄膜作製技術の応用
著者等紹介
草野英二［クサノエイジ］
１９８３年神戸大学大学院工学研究科工業化学専攻修士課程修了。日本板硝子株式会社入社。１９９５年日本板硝子株式会社退社。金沢工業大学工学部助教授。２００１年金沢工業大学工学部教授。２００８年金沢工業大学バイオ・化学部教授。博士（工学）（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです）
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