内容説明
前工程から後工程まで、知りたいプロセスの全てが豊富なイラストで手に取るようにわかる。
目次
第１章 半導体製造プロセスを理解する
第２章 前工程のプロセスフロー
第３章 洗浄・乾燥ウェットプロセス
第４章 イオン注入・熱処理プロセス
第５章 リソグラフィプロセス
第６章 エッチングプロセス
第７章 成膜プロセス
第８章 平坦化（ＣＭＰ）プロセス
第９章 後工程プロセスの概要
第１０章 後工程の最新動向
第１１章 半導体プロセスの今後の動向
感想・レビュー
※以下の感想・レビューは、株式会社ブックウォーカーの提供する「読書メーター」によるものです。
りょう
3
図解入門というだけあって分かり良い。ただ、ある程度の理科の知識は必要。2014/01/19
ペンサム
0
工場の成り立ちや管理の考え方概要など、働きながら知っていきはするが、入社したてで読みたかった。その方が色んな事の理解が早かったはず。全体的に浅い内容だが、原理について結構詳しくかかれており、所々参考になる。実際の自社工場のプロセスとの比較をするとより良い。自社がどういうレベルのことしてるのか？や、現状懸念も考え直すきっかけにはなる。その他、調べものをしたい時の広い範囲で検索ワードを増やすことになるので見る価値はあり。2016/01/06
