内容説明
薄膜技術は、非常に基礎的な技術でありながら関係する応用分野が広く、エレクトロニクス技術の最先端を担う技術でもある。いわゆる情報化社会を可能にしている技術をハード面で支えているのが、薄膜技術である。本書は、その基本事項を解説するとともに、最新技術の紹介も行い、産業分野にも生かせる形でわかりやすく解説する教科書である。
目次
１ 総論（薄膜の機能と応用；薄膜形成技術；膜成長過程とエピタキシー；薄膜の歴史）
２ 薄膜の作製法（真空蒸着；スパッタリング法；化学気相成長法）
３ 薄膜の機能（半導体薄膜；光学薄膜；有機薄膜；誘電体薄膜；磁性薄膜）
４ 薄膜の性質と応用（膜厚測定法；薄膜の機械的・力学的性質；薄膜の化学的性質；電子デバイスへの応用）
著者等紹介
金原粲［キンバラアキラ］
金沢工業大学高度材料科学研究開発センター
白木靖寛［シラキヤスヒロ］
東京大学大学院工学系研究科
吉田貞史［ヨシダサダフミ］
埼玉大学工学部
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