アドバンストエレクトロニクスシリーズ ウルトラクリーンＵＬＳＩ技術

大見 忠弘【著】

培風館（1995/12発売）

• サイズ A5判／ページ数 366p／高さ 22cm
• 商品コード 9784563036157
• NDC分類 549.7
• Cコード C3355

内容説明

本書は、幾多の研究実験施設やプロセス工場の設計に携わってきた著者が、クリーン技術に関するあらゆる問題と処理法について、そのノウハウと理論的側面を解説し、併せてその技術によって可能となる新デバイスにまで言及した大変示唆に富む解説書。

目次

４端子デバイスエレクトロニクス
高精度トータル低温化プロセス
表面・界面のウルトラクリーン化技術
クリーン表面とガス分子の相互作用