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Description
(Text)
Silizium ist der wichtigste Werkstoff in der Halbleitertechnologie. Obwohl der defektfreie Si-Einkristall einer der bestverstandenen Systeme in den Materialwissenschaften ist, ist die Si-Elektrochemie für viele nachwievor eine Art "Alchemie". Dies liegt hauptsächlich an den interdisziplinären Aspekten des Themas: Physik und Chemie treffen sich an der Silizium-Elektrolyt Grenzfläche Dieses Buch gibt einen kompakten Überblick dieses wichtigen Themas der Siliziumtechnik unter Einbeziehung zahlreicher Anwendungsbeispiele, von photonischen Kristallen bis hin zu Biochips. Es dient insbesondere Ingenieuren und Werkstoff-Experten der Si-Technik als kompaktes Nachschlagewerk mit seinen mehr als 150 technischen Tabellen und Diagrammen und die über 1000 Literaturzitate erlauben einen schnellen Zugang zur Originalliteratur.
(Table of content)
From the contents:
- Introduction
- Chemical Dissolution of Silicon
- The Semiconductor-Electrolyte Junction
- The Electrochemical Dissolution Process of Silicon
- Anodic Oxidation
- Electrochemical Pore Formation
- Microporous Silicon
- Mesoporous Silicon
- Macroporous Silicon
- Applications
