真空技術ユーザーガイド(第3版)<br>A User's Guide to Vacuum Technology (3RD)

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真空技術ユーザーガイド(第3版)
A User's Guide to Vacuum Technology (3RD)

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  • 製本 Hardcover:ハードカバー版/ページ数 550 p.
  • 言語 ENG
  • 商品コード 9780471270522
  • DDC分類 621.55

基本説明

Includes discussion of ISI units and their conversion.

Full Description

In the decade and a half since the publication of the Second Edition of A User?s Guide to Vacuum Technology there have been many important advances in the field, including spinning rotor gauges, dry mechanical pumps, magnetically levitated turbo pumps, and ultraclean system designs. These, along with improved cleaning and assembly techniques have made contamination-free manufacturing a reality. Designed to bridge the gap in both knowledge and training between designers and end users of vacuum equipment, the Third Edition offers a practical perspective on today?s vacuum technology. With a focus on the operation, understanding, and selection of equipment for industrial processes used in semiconductor, optics, packaging, and related coating technologies, A User?s Guide to Vacuum Technology, Third Edition provides a detailed treatment of this important field. While emphasizing the fundamentals and touching on significant topics not adequately covered elsewhere, the text avoids topics not relevant to the typical user.

Contents

Its Basis

1. Vacuum Technology 3 2. Gas Properties 9

3. Gas Flow 25

4. Gas Release from Solids 57

Measurements 

5. Pressure Gauges 81

6. Flow Meters 109

7. Pumping Speed 123

8. Residual Gas Analyzers 133

9. Interpretation of RGA Data 161

Production

10. Mechanical Pumps 183

11. Turbomolecular Pumps 201

12. Diffusion Pumps 217

13. Pump Fluids 229

14. Getter and Ion Pumps 247

15. Cryogenic Pumps 263

Materials

16. Materials in Vacuum 289

17. Joints, Seals, and Valves 313

18. Lubrication 345

Systems

19. Rough Vacuum Pumping 359

20. High Vacuum Systems 379

21. Ultraclean Vacuum Systems 403

22. High Flow Systems 415

23. Multichamber Systems 431

24. Leak Detection 447

Symbols 459

Appendixes

A. Units and Constants 463

B. Gas Properties 466

C. Material Properties 478

D. Isotopic Abundances 488

E. Cracking Patterns 492

F. Pump Fluid Properties 498

Index 505