ＵＬＳＩデバイス・プロセス技術

ＵＬＳＩデバイス・プロセス技術

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  • サイズ A5判／ページ数 322p／高さ 22cm
  • 商品コード 9784885521263
  • NDC分類 549.7
  • Cコード C3055

目次

バイポーラトランジスタの動作機構
ＭＯＳトランジスタの動作原理
ＵＬＳＩデバイス構造
ＵＬＳＩの製造方法
リソグラフィとエッチング
ＵＬＳＩ製造の要素技術
信頼性と検査技術
ＵＬＳＩのための将来技術

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