内容説明
本書は、最新の研究例の写真からはじめて、マイクロマシンとは何かを説明し、従来の大きな機械との違いを述べてある。さらに、マイクロマシンが役立つ応用を紹介してある。その後、半導体技術を利用したマイクロマシンの作り方を基礎から順番に説明し、最後に、マイクロマシンの鍵をにぎる要素となる力の発生源（マイクロモータとマイクロアクチュエータ）について、世界と国内の最新の研究成果をまとめて紹介した。
目次
序章 機械の小型化の夢
第１章 ミクロの世界の機械たち
第２章 マイクロマシンとは何か
第３章 マイクロマシンが使われる分野
第４章 マイクロマシンの具体的応用例
第５章 マイクロマシーニング（製作技術）
第６章 マイクロアクチュエータ
感想・レビュー
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和彦有住
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電子化済み2020/06/06
