内容説明
ＬＳＩや光デバイスなどを中心とする半導体デバイスがシステムの基幹デバイスとして重宝がられてから久しい。このデバイスを陰で支えているのが評価技術である。半導体評価技術はデバイスを形成するための材料の評価技術、デバイスを製造するプロセスの評価技術、さらに製造されたＬＳＩなどのデバイスの評価に大別できる。本書ではこれらの中から基幹となるような１００項目を取り上げ、できるだけ数式を用いずに平易に解説している。
目次
第１編 材料評価技術（オフライン評価技術；オンライン材料評価）
第２編 デバイス工程評価技術（オンライン工程評価技術；ｉｎ‐ｓｉｔｕ評価技術）
第３編 デバイス評価技術（個別デバイスの評価；ＬＳＩの評価技術）
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