入門真空・薄膜・スパッタリング

Ｒ・Ｖ・ステュアート/毛利衛

技報堂出版（1985/10発売）

• サイズ A5判／ページ数 145p／高さ 22cm
• 商品コード 9784765503587
• NDC分類 571

感想・レビュー

※以下の感想・レビューは、株式会社ブックウォーカーの提供する「読書メーター」によるものです。

[少穆]

　ポンプの使い方や、スパッタの基本的な考え方を学ぶことが出来たように思う。タイトルに反して真空蒸着法についての説明も多い……読み飛ばしたが。 　読み終わったころに気が付いたが、毛利衛さんが共訳だったのに驚いた。 ★★★★☆

2013/09/29