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ハンドウタイデバイスノブツリ
半導体デバイスの物理
231p / 21cm / A5判 ポイント: 36 pt ?ポイントについて
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現在の私達の生活は半導体デバイスを抜きにしては考えられない。
本書は現在もっとも多く使われているMOSデバイスに重点を置き、半導体表面や界面の電荷の問題を詳述。
また、デバイスの物理について量子論的な説明を加えた。
1 半導体中のキャリアの運動
2 エネルギーバンドと有効質量
3 真性半導体と不純物半導体
4 キャリアの注入とその振舞い
5 表面、界面と電子準位
6 p‐n接合とその特性
7 M‐S接合とその特性
8 MOS構造とMOS電界効果
9 MOSダイオードの諸特性と酸化膜および界面の電荷
10 MOSトランジスタとMOSインバータ
11 CMOSデバイスとラッチアップ
12 微細MOSデバイスのショートチャネル効果
13 LSIプロセスの基礎
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