内容説明
薄膜技術は、ＬＳＩをはじめ、光・電子デバイス、液晶表示デバイス、各種メモリなど、産業の広範囲に及んでいる。したがって、研究者や技術者が実際に扱う技術は細分化・特殊化され、底流にある基本技術や要点を理解し、全体像を把握することは困難になっているのが現状である。そこで本書は薄膜技術の基本技術と材料別成長技術を縦と横の関係から説き明かし、全体像の把握と技術の本質をより深く理解できる構成をとり、解説は網羅的記述でなく、要点抽出型記述をとり、重要項目ごとに読切り形式なので効率的理解がはかれ、図表を多用し、各節頭にその節の要約を設けるなど、読者の理解の便をはかっている。
目次
１ 薄膜成長技術の概要
２ 薄膜作製の基本技術
３ 薄膜作製の先端技術
４ 材料別薄膜成長技術
５ 薄膜の評価技術
