超精密シリーズ<br> 超精密システムの設計技術

超精密シリーズ
超精密システムの設計技術

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  • サイズ A5判／ページ数 210p／高さ 22cm
  • 商品コード 9784339044119
  • NDC分類 532
  • Cコード C3353

目次

１　超精密機械システムの設計原理
２　超精密回転要素および機構の設計原理
３　超精密直動要素および機構の設計原理
４　超精密運動の制御の原理
５　超精密機械システムの設計例

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