目次
第１章 導入
第２章 真空と気体分子運動論
第３章 プラズマの基礎
第４章 物理蒸着法（ＰＶＤ）
第５章 薄膜の形成過程
第６章 エッチング
第７章 フォトリソグラフィ
付録Ａ 基礎定数表と真空の単位
付録Ｂ 材料の科学についてのノート
付録Ｃ 分布関数とマックスウェル―ボルツマン分布
付録Ｄ 対数目盛と対数グラフ
著者等紹介
近藤英一［コンドウエイイチ］
１９８４年早稲田大学理工学部卒、１９８６年同大学院修了。川崎製鉄ハイテク研究所主任研究員、ＩＭＥＣ研究員（ベルギー）などを経て、山梨大学助教授（工博、京都大学）（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです）
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