目次
１章 超精密位置決め技術の基礎
２章 超精密位置決め達成法
３章 アッベの原理
４章 変位センサ
５章 構造要素
６章 制御
７章 熱変形対策
８章 振動対策
９章 転がり要素の非線形ばね特性
１０章 ボールねじ対リニアモータ
著者等紹介
大塚二郎［オオツカジロウ］
１９４０年東京都武蔵野市に生まれる。１９６４年東京工業大学理工学部制御工学科卒業。１９６９年東京工業大学大学院理工学研究科博士課程（機械工学専攻）修了、工学博士、東京工業大学精密工学研究所助手・助教授。１９９３年静岡理工科大学理工学部機械工学科教授。１９９３年～２００８年精密工学会超精密位置決め専門委員会委員長。２００９年静岡理工科大学名誉教授、同時に同大学総合技術研究所客員教授、同大学理工学部客員教授（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです）
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