内容説明
本書は、表面科学、ナノサイエンス、ナノテクノロジーという新しい切り口からＳＥＭの能力と可能性をまとめたものである。おそらく、少なからぬ方がＳＥＭでもこのようなものが観えるのか、あるいは、このような使い方もあるということに驚かれるであろう。原子レベルの分解能がなくとも、操作性の良さと他の計測法や加工法との複合化のしやすさにより、単なる観察手段にとどまらず、ナノ計測・ナノ加工のツールとして、ますます重要な位置を占め、その応用範囲が広がっていくものと考えられる。物質系のナノサイエンス、ナノテクノロジーを中心とした構成。
目次
１ 走査電子顕微鏡の概要（基本構成；装置の種類 ほか）
２ 装置と測定法（装置；試料処理 ほか）
３ 像形成と分解能（電子と固体との相互作用；像形成と各種コントラスト ほか）
４ ナノマテリアルの観察（半導体ナノ構造の観察；カーボンナノチューブの観察 ほか）
５ その場観察・複合観察（超高真空ＳＥＭによるその場観察；プローブ顕微鏡との複合化 ほか）
