出版社内容情報
【セールスポイント】
最新かつ重要なテーマを厳選した研究･学術情報書
【発刊の目的と内容】
本シリーズは、応用物理分野の標準的なテキストである＜基礎コース＞と、最新の研究･学術情報書である＜専門コース＞に分かれている。本書は、＜専門コース＞の一冊として、アモルファスシリコンの物性的な基礎知識から、作製法と成長プロセス技術、応用例までを詳しく解説した。
【購読対象者】
応用物理、電気、電子、材料系の技術者･研究者の方々
【詳細目次】
1章 序論♂アモルファスとは♂アモルファス半導体小史♂本書の構成♂2章 作製法と成長プロセス♂作製法概要♂SiH4プラズマの形成♂成長機構♂3章 構造物性♂モルフォロジー♂膜中の水素♂密度♂構造秩序度♂欠陥♂不純物♂ドーピング♂4章 光･電気物性♂乱れと電子構造♂光学吸収端構造♂電気的性質♂過剰キャリヤの輸送と再結合♂Si系合金材料と多層膜物性♂5章 構造安定性と光誘起効果♂非平衡固体の本質♂アモルファス半導体における各種光誘起効果♂Staebler-Wronski効果♂熱的安定性)♂6章 応用♂アモルファス半導体の特徴と応用分野♂アモルファス半導体の応用例♂索引
内容説明
本書は、最近特に注目されているアモルファスＳｉの作製法と応用例の現状を紹介すると共に、成長プロセスならびに諸物性等について詳述したものです。
目次
作製法と成長プロセス
構造物性
光・電気物性
構造安定性と光誘起効果
応用
